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    中小尺寸光罩-澳门大阳城集团官网-澳门太阳集团城网址

    重要应用领域: 1.IC Bumping、IC载板、IC Lead Frame等相干行业; 2.LED(PSS)、MEMS、SENSOR和ENCODER等邃密电子元器件行业。

    1. 详细信息

    铬版精度(Standard Size:6inch Quartz)

    精度/级别

    最高精度

    高精度

    中精度

    一样平常精度

    最小线宽/线缝-澳门大阳城集团官网

    0.75μm/0.75μm

    3μm/3μm

    5μm/5μm

    10μm/10μm

    线条精度

    ±0.1μm

    ±0.3μm

    ±0.5μm

    ±1.0μm

    总长精度

    ±0.25μm

    ±0.5μm

    ±0.75μm

    ±1.0μm

    图形位置精度

    ±0.25μm

    ±0.5μm

    ±0.75μm

    ±1.0μm

    套合精度

    ±0.25μm

    ±0.5μm

    ±0.75μm

    ±1.0μm

    垂直精度

    ±0.5μrad

    ±0.75μrad

    ±1.0μrad

    ±2.0μrad

     

    铬版质料 (Photomask blank phate)

    质料

    Soda Lime Glass、-澳门太阳集团城网址Quartz

    通例尺寸

    3006,4009,5009,6012,6025,7012,9012,12"x12",14"x14"

    厚度-1381.com

    1.5±0.2mm,2.3±0.2mm ,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm

    6.35±0.2mm (QZ)

    铬膜

    Low Reflectance Chrome

    光学密度-太阳集团99138.com (λ=450nm)

    Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3

    反射率 (λ=436nm)

    Between Plates10±5% In Plate±2%

     


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